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真空泵、 干式真空泵、 半导体真空泵、 Vacuum、 Pump、 Dry、 Pump；废气处理设备、 Scrubber、 等离子、 燃烧、 电加热、 干式吸附；温控设备、 温控器、 Chiller、 深冷机；半导体辅助设备、 Sub、 Fab；集成电路、 半导体、 光伏、 液晶面板、 锂电池；IC、 LED、 OLED、 PV；、

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Edwards、Ebara、kashiyawa、沈科仪、Pfeiffer、爱德华、埃迪沃滋、荏原、樫山、京仪、GST、Unisem、PTC、FST、Gnbs、DAS、Kaken、协微，Gnbs

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微 特 科 （ 无 锡 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 、 V T E C O 、 微 特 科   2 0 年 干 式 真 空 泵 研 发 制 造 经 验 2 0 y e a r s o f e x p e r i e n c e i n t h e r e s e a r c h a n d m a n u f a c t u r i n g o f d r y v a c u u m p u m p s p u m p     S c r u b b e r     C h i l l e r     首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 企 业 资 质 制 造 能 力 合 作 客 户 产 品 中 心 S c r u b b e r C h i l l e r P u m p 维 保 服 务 服 务 支 持 维 保 业 务 文 件 下 载 新 闻 资 讯 联 系 方 式 E n g l i s h 研 发 研 发 产 品 研 发 零 部 件 开 发 新 技 术 研 发 生 产 合 规 生 产 体 系 成 熟 生 产 经 验 柔 性 产 能 调 配 销 售 行 业 客 户 直 达 定 制 销 售 方 案 区 域 服 务 覆 盖 维 保 产 品 维 修 保 养 服 务 驻 厂 统 包 整 合 服 务 — —   服 务 范 围     — — N E W S   · T :   温 度 控 制 设 备 ( C h i l l e r ) 业 务 板 块 , 为 半 导 体 制 造 工 艺 提 供 精 准 温 控 技 术 ;   · E :   尾 气 处 理 器 ( S c r u b b e r ) 业 务 板 块 , 提 供 一 揽 子 半 导 体 行 业 高 效 环 保 的 尾 气 处 理 系 统 解 决 方 案 。 公 司 依 托 韩 国 顶 级 半 导 体 设 备 设 计 研 发 团 队 的 技 术 支 持 , 在 无 锡 建 立 先 进 的 生 产 基 地 , 实 现 核 心 技 术 本 土 化 落 地 。 凭 借 卓 越 的 产 品 性 能 与 便 捷 的 本 地 化 服 务 优 势 , V T E c O 为 全 球 半 导 体 产 业 链 客 户 提 供 高 可 靠 性 设 备 , 覆 盖 晶 圆 制 造 、 封 装 测 试 等 关 键 环 节 , 助 力 客 户 提 升 生 产 效 能 与 绿 色 可 持 续 发 展 。 详 细 简 介 — —   关 于 我 们     — — A b o u t U s — — — — 专 注 于 半 导 体 核 心 附 属 设 备 研 发 、 生 产 与 服 务 的 创 新 型 高 科 技 企 业 全 部 产 品 — —   产 品 展 示     — — P r o d u c t D i s p l a y — — — — 专 注 于 半 导 体 核 心 附 属 设 备 研 发 、 生 产 与 服 务 产 品 具 备 卓 越 运 行 性 能 ， 真 空 泵 可 长 期 稳 定 运 转 且 节 能 低 耗 ； S c r u b b e r 废 气 处 理 效 率 ≥ 9 9 % ， 平 均 故 障 间 隔 时 间 （ M T B F ） ＞ 6 0 0 0 小 时 ， 平 均 修 复 时 间 （ M T T R ） ＜ 1 小 时 ； C h i l l e r 温 控 精 度 达 ± 0 . 1 ℃ ， 可 适 应 动 态 负 载 波 动 ， 同 时 产 品 节 能 设 计 能 有 效 降 低 客 户 运 行 成 本 。 高 可 靠 低 能 耗 领 先 技 术 实 力 引 进 韩 国 资 深 研 发 团 队 的 成 熟 技 术 ， 拥 有 1 5 年 半 导 体 附 属 设 备 研 发 经 验 ， 核 心 技 术 实 现 本 土 化 落 地 ， 核 心 知 识 产 权 自 主 可 控 。 公 司 产 品 覆 盖 干 式 真 空 泵 （ p u m p ） 、 温 度 控 制 （ C h i l l e r ） 、 尾 气 处 理 （ S c r u b b e r ） 三 大 核 心 领 域 ， 真 空 泵 可 适 配 洁 净 、 一 般 及 苛 刻 半 导 体 工 艺 ， S c r u b b e r 可 处 理 可 燃 性 、 水 溶 性 、 P F C s 等 全 品 类 气 体 ， C h i l l e r 可 实 现 2 0 ℃ 至 9 0 ℃ 多 区 间 精 准 温 控 ， 一 站 式 满 足 半 导 体 晶 圆 制 造 、 封 装 测 试 等 全 流 程 设 备 需 求 。 聚 焦 附 属 设 备 韩 国 合 作 公 司 曾 服 务 三 星 、 海 力 士 等 头 部 半 导 体 企 业 ， 累 计 交 付 S c r u b b e r 设 备 超 1 0 0 0 台 、 C h i l l e r 设 备 超 5 0 0 0 台 ， 拥 有 半 导 体 行 业 附 属 设 备 丰 富 的 应 用 验 证 ； 1 5 年 研 发 制 造 经 验 ， 对 各 类 工 艺 废 气 处 理 、 真 空 环 境 搭 建 、 精 准 温 控 有 成 熟 的 技 术 方 案 与 实 践 案 例 。 丰 富 行 业 经 验 工 厂 管 理 符 合 I S O 9 0 0 1 、 I S O 1 4 0 0 1 、 I S O 4 5 0 0 1 认 证 体 系 ， 产 品 通 过 C E 、 S E M I S 2 / S 8 等 行 业 认 证 ； 产 品 兼 具 环 保 属 性 ， 能 助 力 客 户 实 现 绿 色 低 碳 生 产 ， 契 合 行 业 可 持 续 发 展 要 求 。 环 保 合 规 能 力 在 无 锡 、 山 东 、 成 都 布 局 三 大 研 发 与 服 务 基 地 ， 实 现 核 心 技 术 本 土 化 生 产 与 快 速 响 应 ； 提 供 定 制 化 本 地 服 务 及 便 捷 售 后 维 护 ， 可 缩 短 设 备 维 护 周 期 与 停 机 时 间 ， 为 客 户 生 产 连 续 性 提 供 坚 实 保 障 。 快 速 响 应 服 务 — —   制 造 能 力     — — c o r p o r a t e s t r e n g t h — — — — 专 注 于 半 导 体 核 心 附 属 设 备 研 发 、 生 产 与 服 务 无 锡 工 厂 韩 国 螺 杆 转 子 加 工 专 机 韩 国 D O O S A N （ 斗 山 ） 数 控 车 床 日 本 T S U G A M I （ 津 上 ） 数 控 磨 床 日 本 M a z a k 卧 式 加 工 中 心 性 能 测 试 韩 国 D O O S A N 立 式 加 工 中 心 德 国 S C H E N C K （ 申 克 ） 数 控 平 衡 机 — —   制 造 能 力     — — c o r p o r a t e s t r e n g t h — — — — 专 注 于 半 导 体 核 心 附 属 设 备 研 发 、 生 产 与 服 务 S e r v i c e S u p p o r t — — — — 完 善 的 服 务 体 系 确 保 客 户 的 利 益 更 大 化 — —   服 务 支 持     — — D o w n l a o d 文 件 下 载 公 司 为 您 提 供 相 关 技 术 文 档 供 在 线 查 看 和 下 载 。 通 过 系 统 性 的 计 划 、 精 准 执 行 和 详 尽 记 录 ， 设 备 的 运 行 时 间 ， 预 防 停 机 。 P M 保 养 服 务 当 设 备 发 生 故 障 时 ， 快 速 、 精 准 的 响 应 和 修 复 是 我 们 的 核 心 承 诺 。 R e p a i r 维 修 服 务 P a r t s 配 件 服 务 备 件 的 及 时 与 准 确 供 应 是 快 速 维 修 的 生 命 线 。 完 善 的 备 件 管 理 体 系 。 — —   新 闻 动 态     — — N E W S & I N F O R M A T I O N — — — — 关 注 我 们 时 刻 了 解 企 业 及 行 业 较 新 动 态 微 特 科 （ V T E c o ） 亮 相 I C C h i n a . . . . . . 2 0 2 5 1 1 2 7 第 二 十 二 届 中 国 国 际 半 导 体 博 览 会 （ I C C h i n a 2 0 2 5 ） 在 北 京 开 幕 ， 微 特 科 （ 无 锡 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 （ V T E c o ） 携 真 空 泵 、 温 度 控 制 、 尾 气 净 化 三 大 核 心 产 品 参 展 ， 展 示 了 . . . . . . 微 特 科 （ 无 锡 ） 半 导 体 亮 相 湾 芯 展 三 大 核 心 设 备 . . . . . . 2 0 2 5 1 0 1 5 2 0 2 5 年 1 0 月 1 5 日 ， 微 特 科 （ 无 锡 ） 半 导 体 在 深 圳 湾 芯 展 （ W E S E M I B A Y ） 展 位 9 E 1 0 展 示 了 “ 产 品 + 服 务 ” 深 度 融 合 的 解 决 方 案 ， 重 点 呈 现 真 空 泵 、 温 度 控 制 设 备 和 尾 气 处 理 器 . . . . . . 首 次 出 征 行 业 大 展 ！ 微 特 科 亮 相 C S E A C 2 . . . . . . 2 0 2 5 0 9 1 0 第 十 三 届 半 导 体 设 备 与 核 心 部 件 及 材 料 展 （ C S E A C 2 0 2 5 ） 于 9 月 4 日 至 6 日 在 无 锡 举 行 。 微 特 科 （ V T E c o ） 作 为 半 导 体 核 心 设 备 领 域 的 新 锐 企 业 首 次 参 展 ， 展 示 了 在 真 空 系 统 、 温 . . . . . . 微 特 科 （ V T E c o ） 亮 相 I C C h i n a . . . . . . 2 0 2 5 1 1 2 7 第 二 十 二 届 中 国 国 际 半 导 体 博 览 会 （ I C C h i n a 2 0 2 5 ） 在 北 京 开 幕 ， 微 特 科 （ 无 锡 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司 （ V T E c o ） 携 真 空 泵 、 温 度 控 制 、 尾 气 净 化 三 大 核 心 产 品 参 展 ， 展 示 了 . . . . . . 关 于 我 们 成 功 案 例 联 系 方 式 产 品 展 示 新 闻 中 心 栏 目 导 航 服 务 热 线 ： 0 5 1 0 8 5 5 8 6 6 8 0 邮 箱 ： c o r w i n . t a n g @ v t e c o . c n 地 址 ： 江 苏 省 无 锡 市 新 吴 区 观 山 路 5 号 4 0 2 2 0 2 5 © 微 特 科 （ 无 锡 ） 半 导 体 设 备 有 限 公 司   w w w . v t e c o . c n     版 权 所 有   A l l R i g h t s R e s r v e d .   S c r u b b e r C h i l l e r P u m p 维 保 服 务 公 司 新 闻 行 业 资 讯 扫 码 访 问 手 机 站 备 案 号 ： 苏 I C P 备 2 0 2 5 2 0 6 0 2 3 号 1 扫 码 关 注 公 众 号

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