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专注于⾼端ALD、PECVD以及特⾊外延设备技术，⽣产具有⾃主知识产权且具备国际竞争⼒的产品，涵盖tALD、PEALD、Si/GeEPI、SiCEPI、PECVD等核⼼技术，产品⼴泛应⽤于⾼端集成电路、功率器件、射频元件及先进封装领域。
科技创新
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所（以下简称“苏州医工所”）是中国科学院唯一以生物医学仪器、试剂和生物材料为主要研发方向的国立研究机构，由中国科学院、江苏省和苏州市人民政府三方共同出资建设。
科研机构