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网站快照厦 门 华 勇 承 自 动 化 设 备 有 限 公 司 _ 氧 化 铝 陶 瓷 _ 滑 石 瓷 首 页 关 于 我 们 关 于 我 们 公 司 简 介 厂 区 环 境 合 作 伙 伴 营 销 与 服 务 案 例 展 示 留 言 咨 询 联 系 我 们 业 务 咨 询 电 话 : 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 产 品 展 示 产 品 展 示 半 导 体 陶 瓷 新 能 源 陶 瓷 光 伏 陶 瓷 部 件 医 疗 陶 瓷 汽 车 电 子 营 销 与 服 务 案 例 展 示 留 言 咨 询 联 系 我 们 业 务 咨 询 电 话 : 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 新 闻 资 讯 新 闻 资 讯 行 业 新 闻 公 司 新 闻 营 销 与 服 务 案 例 展 示 留 言 咨 询 联 系 我 们 业 务 咨 询 电 话 : 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 联 系 我 们 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 营 销 与 服 务 案 例 展 示 留 言 咨 询 联 系 我 们 业 务 咨 询 电 话 : 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 L a n g u a g e 中 文 版 E n g l i s h 半 导 体 精 密 电 子 专 用 高 端 陶 瓷 M O R E + 半 导 体 腔 体 专 用 陶 瓷 非 标 定 制 M O R E + 新 能 源 超 微 粉 碎 机 分 级 轮 M O R E + s c r o l l d o w n H U A Y O N G C H E N G 厦 门 华 勇 承 自 动 化 设 备 有 限 公 司 厦 门 华 勇 承 有 限 公 司 主 要 从 事 高 科 技 陶 瓷 的 生 产 与 研 发 , 公 司 引 进 的 大 型 等 静 压 设 备 和 温 隧 道 窑 资 源 并 拥 有 一 批 经 验 丰 富 的 研 发 队 伍 , 同 时 具 备 设 施 的 生 产 设 备 和 完 善 的 质 量 控 制 体 系 , 已 具 备 加 工 超 大 规 格 结 构 陶 瓷 件 和 陶 瓷 件 的 能 力 。 公 司 的 产 品 应 用 领 域 广 , 规 格 色 彩 丰 富 ( 白 、 黑 、 黄 、 红 、 灰 等 ) , 产 品 材 料 有 7 5 % 、 8 5 % 、 9 5 % 、 9 7 % 到 9 9 . 8 % 的 高 纯 氧 化 铝 陶 瓷 ; 滑 石 瓷 ; 氧 化 钵 纺 织 陶 瓷 ( 导 电 瓷 ) ; 革 青 石 陶 瓷 ; 错 陶 瓷 零 件 等 。 目 前 开 发 生 产 的 各 种 高 科 技 陶 瓷 产 品 涉 及 电 力 、 冶 金 、 石 油 、 化 工 、 电 子 、 环 保 等 众 多 领 域 产 品 已 顺 利 打 入 国 际 市 场 。 在 企 业 的 发 展 过 程 中 , 我 们 以 持 续 不 断 的 创 新 精 神 , 去 完 善 品 质 管 理 系 统 , 秉 持 “ 技 术 , 研 发 创 新 , 务 实 求 进 持 续 发 展 ” 的 宗 旨 . . . . . . 了 解 更 多 2 0 1 2 年 公 司 创 立 于 1 0 0 + 在 职 员 工 3 5 0 0 ㎡ 建 筑 面 积 4 0 + 销 售 区 域 P R O D U C T S S E R I E S — 推 荐 产 品 — 这 里 是 占 位 文 字 这 里 是 占 位 文 字 这 里 是 占 位 文 字 这 里 是 占 位 文 字 这 里 是 占 位 文 字 这 里 是 占 位 文 字 了 解 更 多 + C O M P A N Y A D V A N T A G E S — 公 司 优 势 — 丰 富 的 经 验 多 年 行 业 经 验 , 为 客 户 提 供 完 善 的 、 多 元 化 的 个 性 化 服 务 质 量 检 测 雄 厚 的 技 术 、 过 硬 的 质 量 、 优 质 的 服 务 得 到 了 客 户 的 一 致 好 评 服 务 支 持 我 们 倾 听 客 户 的 心 声 , 客 户 满 意 是 检 验 产 品 质 量 的 标 准 。 A P P L I C A T I O N 产 品 应 用 联 系 我 们 半 导 体 应 用 拥 有 资 质 、 经 验 丰 富 的 骨 干 力 量 ; 拥 有 充 满 活 力 、 不 断 创 新 、 进 取 、 紧 密 合 作 的 团 队 电 子 封 装 光 伏 行 业 3 C 电 子 橡 胶 行 业 医 疗 行 业 拥 有 资 质 、 经 验 丰 富 的 骨 干 力 量 ; 拥 有 充 满 活 力 、 不 断 创 新 、 进 取 、 紧 密 合 作 的 团 队 联 系 我 们 N E W S C E N T E R — 热 点 资 讯 — 2 0 2 3 1 1 1 0 精 密 陶 瓷 成 半 导 体 设 备 的 “ 香 饽 饽 ” , 国 内 产 业 哪 些 问 题 亟 需 解 决 ? 1 0 2 0 2 3 1 1 精 密 陶 瓷 成 半 导 体 设 备 的 “ 香 饽 饽 ” , 国 内 产 业 哪 些 问 题 亟 需 解 决 ? 精 密 陶 瓷 由 于 其 自 身 的 优 良 性 能 , 被 广 泛 应 用 于 国 防 、 化 工 、 冶 金 、 电 子 、 机 械 、 航 空 、 航 天 和 生 物 医 学 等 领 域 , 成 为 这 些 领 域 发 展 的 重 要 关 键 材 料 , 备 受 各 工 业 发 达 国 家 的 极 大 关 注 , 其 发 展 在 很 大 程 度 上 也 影 响 着 其 他 工 业 的 发 展 和 进 步 1 0 2 0 2 3 1 1 精 密 陶 瓷 : 解 决 半 导 体 产 业 “ 卡 脖 子 ” 问 题 的 关 键 在 半 导 体 产 业 中 , 半 导 体 制 造 设 备 是 我 国 卡 脖 子 的 问 题 , 也 是 重 点 鼓 励 发 展 的 产 业 。 近 几 年 , 随 着 国 家 政 策 的 调 整 , 半 导 体 行 业 迅 速 发 展 , 产 业 规 模 急 速 增 大 , 半 导 体 制 造 设 备 持 续 向 精 密 化 、 复 杂 化 演 变 , 高 精 密 陶 瓷 关 键 部 件 的 技 术 要 求 也 越 来 越 高 。 作 为 半 导 体 生 产 设 备 的 关 键 部 件 , 精 密 陶 瓷 部 件 的 研 发 生 产 直 接 影 响 着 半 导 体 装 备 制 造 业 乃 至 整 个 半 导 体 产 业 链 的 发 展 。 可 以 说 , 精 密 陶 瓷 部 件 是 整 个 半 导 体 产 业 基 础 中 的 基 础 。 因 此 , 无 论 从 经 济 安 全 角 度 还 是 产 业 成 本 角 度 考 虑 , 要 突 破 我 国 半 导 体 产 业 面 临 的 “ 卡 脖 子 ” 窘 境 , 必 须 重 视 精 密 陶 瓷 部 件 等 半 导 体 生 产 设 备 关 键 部 件 的 国 产 化 发 展 。 一 、 精 密 陶 瓷 在 半 导 体 中 的 应 用 半 导 体 设 备 需 要 大 量 的 精 密 陶 瓷 部 件 。 由 于 陶 瓷 具 有 高 硬 度 、 高 弹 性 模 量 、 高 耐 磨 、 高 绝 缘 、 耐 腐 蚀 、 低 膨 胀 等 优 点 , 可 用 作 硅 片 抛 光 机 、 外 延 / 氧 化 / 扩 散 等 热 处 理 设 备 、 光 刻 机 、 沉 积 设 备 , 半 导 体 刻 蚀 设 备 , 离 子 注 入 机 等 设 备 的 零 部 件 。 半 导 体 陶 瓷 有 氧 化 铝 、 氮 化 硅 、 氮 化 铝 、 碳 化 硅 等 , 在 半 导 体 设 备 中 , 精 密 陶 瓷 的 价 值 约 占 1 6 % 左 右 。 1 、 氧 化 铝 ( A l ? O ? ) 氧 化 铝 在 半 导 体 装 备 中 使 用 最 为 广 泛 的 精 密 陶 瓷 材 料 。 具 有 材 料 结 构 稳 定 , 机 械 强 度 高 , 硬 度 高 , 熔 点 高 , 抗 腐 蚀 , 化 学 稳 定 性 优 良 , 电 阻 率 大 , 电 绝 缘 性 能 好 等 优 点 , 在 半 导 体 设 备 中 应 用 广 泛 。 在 半 导 体 刻 蚀 设 备 中 , 刻 蚀 机 腔 室 材 料 作 为 晶 圆 污 染 的 主 要 来 源 , 等 离 子 刻 蚀 对 其 影 响 程 度 决 定 了 晶 圆 的 良 率 、 质 量 、 刻 蚀 工 艺 的 稳 定 性 等 等 。 因 此 , 刻 蚀 机 腔 室 材 料 的 选 用 尤 为 重 要 。 当 前 , 主 要 采 用 高 纯 A l ? O ? 涂 层 或 A l ? O ? 陶 瓷 作 为 刻 蚀 腔 体 和 腔 体 内 部 件 的 防 护 材 料 。 除 了 腔 体 以 外 , 等 离 子 体 设 备 的 气 体 喷 嘴 , 气 体 分 配 盘 和 固 定 晶 圆 的 固 定 环 等 也 需 用 到 氧 化 铝 陶 瓷 。 在 晶 圆 硅 晶 片 的 搬 运 中 , 会 应 用 到 氧 化 铝 陶 瓷 制 成 的 陶 瓷 机 械 手 臂 。 氧 化 铝 陶 瓷 和 碳 化 硅 陶 瓷 都 具 备 致 密 质 、 高 硬 度 、 高 耐 磨 性 的 物 理 性 质 , 以 及 良 好 的 耐 热 性 能 、 优 良 的 机 械 强 度 , 高 温 环 境 仍 具 有 良 好 的 绝 缘 性 、 良 好 的 抗 腐 蚀 性 等 物 理 性 能 , 是 用 于 制 作 半 导 体 设 备 机 械 手 臂 的 绝 佳 材 料 。 从 材 料 性 质 来 看 , 碳 化 硅 陶 瓷 用 于 制 作 陶 瓷 机 械 手 臂 较 为 合 适 , 但 是 从 材 料 价 格 、 加 工 难 度 等 经 济 方 面 来 说 , 氧 化 铝 陶 瓷 机 械 手 臂 的 性 价 比 更 高 。 此 外 , 在 晶 圆 抛 光 工 艺 中 , 氧 化 铝 陶 瓷 可 被 广 泛 应 用 于 抛 光 板 、 抛 光 磨 垫 校 正 平 台 、 真 空 吸 盘 等 。 2 、 碳 化 硅 ( S i C ) 碳 化 硅 具 有 高 导 热 性 、 高 温 机 械 强 度 、 高 刚 度 、 低 热 膨 胀 系 数 、 良 好 的 热 均 匀 性 、 耐 腐 蚀 性 、 耐 磨 耗 性 等 特 性 。 碳 化 硅 在 高 达 1 4 0 0 ℃ 的 极 端 温 度 下 , 其 仍 能 保 持 良 好 的 强 度 。 采 用 碳 化 硅 陶 瓷 的 研 磨 盘 由 于 硬 度 高 而 磨 损 小 , 且 热 膨 胀 系 数 与 硅 晶 片 基 本 相 同 , 因 而 可 以 高 速 研 磨 抛 光 。 在 硅 晶 片 生 产 时 , 需 要 经 过 高 温 热 处 理 , 常 使 用 碳 化 硅 夹 具 运 输 , 其 耐 热 、 无 损 , 可 在 表 面 涂 敷 类 金 刚 石 ( D L C ) 等 涂 层 , 可 增 强 性 能 , 缓 解 晶 片 损 坏 , 同 时 防 止 污 染 扩 散 。 此 外 , 碳 化 硅 陶 瓷 还 可 应 用 在 X Y 平 台 、 基 座 、 聚 焦 环 、 抛 光 板 、 晶 圆 夹 盘 、 真 空 吸 盘 、 搬 运 臂 、 炉 管 、 晶 舟 、 悬 臂 桨 等 。 3 、 氮 化 铝 ( A I N ) 高 纯 氮 化 铝 陶 瓷 具 有 卓 越 的 热 传 导 性 , 耐 热 性 、 绝 缘 性 , 热 膨 胀 系 数 接 近 硅 , 且 具 有 优 异 的 等 离 子 体 抗 性 , 产 品 热 量 分 布 均 匀 。 可 应 用 于 晶 片 加 热 的 加 热 器 、 静 电 夹 盘 等 。 4 、 氮 化 硅 ( S i 3 N 4 ) 氮 化 硅 ( S i 3 N 4 ) 是 断 裂 韧 性 高 、 耐 热 冲 击 性 强 、 高 耐 磨 耗 性 、 高 机 械 强 度 、 耐 腐 蚀 的 材 料 。 可 应 用 于 半 导 体 设 备 的 平 台 、 轴 承 等 部 件 。 二 、 精 密 陶 瓷 在 国 内 外 的 发 展 现 状 1 、 半 导 体 设 备 市 场 将 突 破 千 亿 美 元 , 陶 瓷 部 件 占 成 本 1 0 % 以 上 近 期 , 美 国 半 导 体 产 业 协 会 ( S I A ) 表 示 , 2 0 2 1 年 全 球 芯 片 销 售 额 达 到 创 纪 录 的 5 5 5 9 亿 美 元 , 较 上 年 增 长 2 6 . 2 % 。 该 协 会 预 计 , 随 着 芯 片 制 造 商 继 续 扩 大 产 能 以 满 足 需 求 , 2 0 2 2 年 全 球 芯 片 销 售 额 将 增 长 8 . 8 % 。 半 导 体 市 场 迅 猛 发 展 的 同 时 带 飞 了 上 游 设 备 市 场 。 据 了 解 , 继 2 0 2 0 年 同 比 增 长 1 7 % 以 及 2 0 2 1 年 同 比 增 长 3 9 % 之 后 , 晶 圆 厂 设 备 支 出 预 计 在 2 0 2 2 将 继 续 保 持 增 长 。 S E M I ( 国 际 半 导 体 产 业 协 会 ) 指 出 , 2 0 2 2 年 全 球 前 端 晶 圆 厂 设 备 ( 不 含 封 装 测 试 的 前 道 工 艺 设 备 , 一 般 为 晶 圆 制 造 设 备 ) 支 出 预 计 将 超 过 9 8 0 亿 美 元 , 达 到 历 史 新 高 , 连 续 第 三 年 实 现 增 长 。 精 密 陶 瓷 已 成 为 半 导 体 设 备 的 关 键 部 件 , 成 本 占 1 0 % 以 上 。 在 高 端 光 刻 机 中 , 为 实 现 高 制 程 精 度 , 需 要 广 泛 采 用 具 有 良 好 的 功 能 复 合 性 、 结 构 稳 定 性 、 热 稳 定 性 、 尺 寸 精 度 的 陶 瓷 零 部 件 , 如 E c h u c k 、 V a c u m m c h u c k 、 B l o c k 、 磁 钢 骨 架 水 冷 板 、 反 射 镜 、 导 轨 等 , 这 些 关 键 部 件 一 般 选 用 精 密 陶 瓷 材 料 。 在 刻 蚀 设 备 中 , 刻 蚀 机 腔 室 材 料 作 为 晶 圆 污 染 的 主 要 来 源 , 等 离 子 刻 蚀 对 其 影 响 程 度 决 定 了 晶 圆 的 良 率 、 质 量 、 刻 蚀 工 艺 的 稳 定 性 等 等 。 因 此 , 研 究 和 开 发 出 一 种 极 其 耐 刻 蚀 腔 体 材 料 成 为 半 导 体 集 成 产 业 以 及 等 离 子 刻 蚀 技 术 中 一 项 极 具 挑 战 的 任 务 。 当 前 , 主 要 采 用 高 纯 A l ? O ? 涂 层 或 A l ? O ? 陶 瓷 作 为 刻 蚀 腔 体 和 腔 体 内 部 件 的 防 护 材 料 。 除 了 腔 体 以 外 , 等 离 子 体 设 备 的 气 体 喷 嘴 , 气 体 分 配 盘 和 固 定 晶 圆 的 固 定 环 等 也 需 用 到 精 密 陶 瓷 。 一 台 半 导 体 设 备 看 似 是 用 金 属 及 塑 料 打 造 的 , 其 实 里 面 隐 藏 着 非 常 多 极 具 技 术 含 量 的 精 密 陶 瓷 部 件 。 总 之 , 精 密 陶 瓷 在 半 导 体 设 备 中 的 应 用 远 比 我 们 想 象 中 要 多 。 1 0 2 0 2 3 1 1 半 导 体 陶 瓷 的 应 用 半 导 体 行 业 是 当 前 全 球 最 具 前 景 和 发 展 潜 力 的 产 业 之 一 , 其 所 需 的 材 料 也 在 不 断 增 多 和 更 新 。 除 了 传 统 的 硅 材 料 外 , 陶 瓷 材 料 也 逐 渐 成 为 半 导 体 领 域 中 的 重 要 组 成 部 分 。 本 文 将 介 绍 半 导 体 行 业 常 用 的 几 种 陶 瓷 材 料 , 并 探 讨 它 们 的 应 用 方 向 和 特 点 。 1 0 2 0 2 3 1 1 半 导 体 陶 瓷 有 几 种 又 称 热 敏 电 阻 陶 瓷 , 指 电 导 率 随 温 度 呈 明 显 变 化 的 陶 瓷 。 有 三 种 类 型 : ① 负 温 系 数 热 敏 电 阻 ( 简 称 N T C ) , 如 一 些 过 渡 金 属 如 锰 、 铁 、 钴 、 镍 等 的 氧 化 物 半 导 体 陶 瓷 , 特 点 是 随 着 温 度 升 高 , 电 阻 呈 指 数 减 小 。 ② 正 温 系 数 热 敏 电 阻 ( 简 称 P T C ) , 如 掺 杂 的 钛 酸 钡 半 导 体 陶 瓷 , 特 点 是 随 着 温 度 升 高 电 阻 增 大 , 并 在 居 里 点 有 剧 变 。 ③ 剧 变 型 热 敏 电 阻 ( 简 称 C T R ) , 如 氧 化 钒 及 其 掺 杂 半 导 体 陶 瓷 , 具 有 负 温 系 数 , 并 在 某 一 温 度 , 电 阻 产 生 急 剧 变 化 , 变 化 值 可 达 3 ~ 4 个 数 量 级 。 热 敏 陶 瓷 主 要 用 于 温 度 补 偿 、 温 度 测 量 、 温 度 控 制 、 火 灾 探 测 、 过 热 保 护 和 彩 色 电 视 机 消 磁 等 方 面 。 厦 门 华 勇 承 自 动 化 设 备 有 限 公 司 地 址 : 厦 门 市 同 安 区 建 材 园 1 0 3 栋 电 话 : 0 5 9 2 6 1 0 8 8 2 5 传 真 : 6 1 0 8 8 2 5 手 机 : 1 8 0 4 6 2 0 9 9 3 2 邮 箱 : 2 7 8 6 7 6 1 3 8 0 @ q q . c o m 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 厂 区 环 境 合 作 伙 伴 产 品 展 示 半 导 体 陶 瓷 新 能 源 陶 瓷 光 伏 陶 瓷 部 件 医 疗 陶 瓷 汽 车 电 子 新 闻 资 讯 行 业 新 闻 公 司 新 闻 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 手 机 官 网 C o p y r i g h t © 厦 门 华 勇 承 自 动 化 设 备 有 限 公 司 网 站 建 设 : 中 企 动 力 厦 门 S E O 标 签 营 业 执 照 搜 索
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